1.廢氣先經(jīng)過預(yù)處理，其目的為將廢氣中大粒徑的廢氣顆粒進(jìn)行粗過濾。然后再進(jìn)入后級干式過濾器（G4+F7），將廢氣濕度降低至允許進(jìn)入廢氣處理設(shè)備的范圍，同時對廢氣中的粉塵進(jìn)行高精度過濾。

2.經(jīng)過過濾后的廢氣，進(jìn)入后續(xù)設(shè)備的吸附床，吸附凈化的潔凈氣體排放煙囪，吸附在蜂窩活性炭上的有機(jī)物，利用高溫氣體（100~120℃）對其進(jìn)行脫附。高溫氣體來源為后方CO燃燒后的高溫空氣與自然風(fēng)混合生成。

3.經(jīng)蜂窩活性炭高溫脫附后的廢氣，經(jīng)過高效換熱器汲取熱量后再經(jīng)過電加熱器加熱達(dá)到催化溫度，在CO催化爐中完成氧化分解，廢氣得到凈化。凈化后的高溫氣體經(jīng)過換熱器進(jìn)行熱量利用，換熱后的氣體溫度仍然較高，一部分氣體用于蜂窩活性炭脫附加熱，剩余部外排至煙囪或根據(jù)客戶需求進(jìn)行余熱利用。